油扩散泵：(1)扩散泵的原理：在前级真空泵所造成的低真空条件下，加热泵内硅油，使受热沸腾蒸发，生成蒸气，以极高速度通过该泵的各级喷口的缝隙喷出，使容器内部的气体分子扩散到蒸汽中被带到前级真空泵所能作用的位置，由前级真空泵迅速抽出，使系统达到高真空的要求。
(2)使用要求：泵在使用前，应先用自来水冲刷，除去浮尘，后用洗液罐入充分洗涤，再用清水及蒸馏水洗净吹干，最后罐入规定容量的572。电热功能应大致符合规定，并应用变压器调节电压，慢慢调至恰当的位置，从200至220之间便适应工作要求。
1895 三级油扩散泵（GG－17玻璃）：
本扩散泵使用原理性能与1894四级扩散泵相似，只是体积及抽速略小，价格便宜，适用于要求较低真空系统用。其技术数据如下：
抽速(升/秒) : 60～80
极限真空(モ) : 5×10ˉ7
用油量ml : 150
泵直径mm : 100
全高mm : 530