油扩散泵：(1)扩散泵的原理：在前级真空泵所造成的低真空条件下，加热泵内硅油，使受热沸腾蒸发，生成蒸气，以极高速度通过该泵的各级喷口的缝隙喷出，使容器内部的气体分子扩散到蒸汽中被带到前级真空泵所能作用的位置，由前级真空泵迅速抽出，使系统达到高真空的要求。
(2)使用要求：泵在使用前，应先用自来水冲刷，除去浮尘，后用洗液罐入充分洗涤，再用清水及蒸馏水洗净吹干，最后罐入规定容量的572。电热功能应大致符合规定，并应用变压器调节电压，慢慢调至恰当的位置，从200至220之间便适应工作要求。
1894 四级油扩散泵（GG－17玻璃）：
玻璃油扩散泵由于在使用过程中易于清洗，检漏和密封，并能直接观察泵内油的蒸发状态，故被广泛采用作为高真空抽气设备。其数据如下：
抽速 升/秒: 130
极限压强 モ : 1×10ˉ8
加热功率 W : 800
加油量 ml : 120
泵体高 mm : 约530
泵直径 mm : 120
进气口径 mm : 35
出气口径 mm : 15